온라인 바카라 DFR 시리즈

구조 형성에서 기판 접합까지 일재로 실현하는 드라이 필름 레지스트

온라인 바카라 DFR 시리즈는 에폭시 수지 기반 영구 필름용 네거티브 드라이 필름 레지스트입니다.

저 할로겐 에폭시 수지 사용 및 안티몬이 없는 설계로 화학적 및 열적으로 안정한 구조를 형성할 수 있습니다. 또, 기판에의 뛰어난 밀착성이 특징의 제품이 되고 있어 노광에 의한 패터닝 가능한 접합 재료로서 사용하실 수 있습니다.

용도로는 센서 패키지용 중공구조의 Wall형성, 마이크로유로, 바이오디바이스에 적용이 가능한 제품입니다(ISO-10993-5 세포독성시험에서 독성이 매우 낮다는 결과를 얻었습니다).

온라인 바카라-500 DFR

온라인 바카라-500 DFR 특징

● 네거티브형 감광성 레지스트, 웨이퍼끼리의 접합 용도
● 광대역 i선에서의 감광
● TMAH 현상(2.38% TMAH)
● 저온에서 보이드 프리 접합 가능(150℃)
● 각종 기판에 좋은 밀착성

온라인 바카라-500 DFR 제품 형식

고객의 요구에 맞추어 40, 80μm 이외의 막 두께의 라인업도 갖추고 있습니다.

● 일본화약제 고순도(저할로겐) 수지를 적용
● 화학적 및 열적으로 안정한 접합 재료로 사용 가능(센서 패키지, 마이크로 유로)

필름 구성

외관

※사진은 이미지입니다.

제품 사양

스크롤할 수 있습니다.

	온라인 바카라-500 DFR
레지스트 층 막 두께	40, 80μm
롤 길이	25m
권장 보관 조건	냉동(-20℃ 이하)

Si-유리 접합
건조 필름의 장점

우리의 드라이 필름은 막 두께 균일성이 높기 때문에 기판의 외주부까지 불량없이 접합이 가능합니다. 이것에 의해 1개의 기판으로부터 얻을 수 있는 칩수가 향상되어, 제조 코스트 저감에 기대할 수 있습니다.

Si 기판의 해상도

세밀하고 수직적인 모양을 얻을 수 있습니다. 또한 섬세한 형상에서도 높은 밀착성을 가지므로, 자유도가 높은 설계가 가능하고, 소형화나 고기능화에 공헌합니다.

● 온라인 바카라 막 두께: 40μm

Si-유리 접합

뛰어난 밀착성과 강도를 겸비하여 접합 불량과 형상 변화가 없는 접합을 실현할 수 있습니다.

●고밀폐성
●균열, 결함 없음
●보이드 프리

Si-유리 접합
다이싱 후 단면도

견고한 접합으로 인해 다이싱 공정 후에도 기판과의 박리가 없으며 높은 신뢰성을 제공합니다.

구조 형성 예
~온라인 바카라을 이용한 다단 구조 형성~

당사 드라이 필름을 사용하여 라미네이트와 포토리소그래피를 반복하여 다층 구조체를 제작한 예입니다. 기존에는 어려웠던 구조도 실현 가능합니다.

프로세스 흐름

단면 사진

① 수지로 밀봉한 폭넓은 유로

② 수지와 유리로 밀봉한 다층 및 미세한 유로

③ 상하층을 연결하는 스루홀을 갖는 유로

④ 중공 구조 상에 수지 벽을 갖는 유로

온라인 바카라-500 DFR의 제품 특성

물성표(참고값)